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高精密工作臺伺服驅(qū)動環(huán)節(jié)的設(shè)計(jì)與研究
摘要：研究并設(shè)計(jì)了應(yīng)用于母盤刻錄機(jī)的高精密工作臺伺服驅(qū)動環(huán)節(jié)。在基于DSP數(shù)字閉環(huán)控制器的基礎(chǔ)上，通過理論建模、程序仿真和實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證，對驅(qū)動環(huán)節(jié)進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì)。在驅(qū)動環(huán)節(jié)中采用了模擬速度環(huán)、PI校正環(huán)節(jié)和線性功放，使工作臺在低速下有較快的響應(yīng)和較小的穩(wěn)態(tài)誤差。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，使用驅(qū)動環(huán)節(jié)后的伺服控制系統(tǒng)有利于提高母盤的刻錄精度。隨著社會的發(fā)展，信息的存儲量越來越大，光盤信息存儲技術(shù)也在不斷飛速發(fā)展，因而對母盤制造精度提出了更高的要求。
目前，光盤國家工程研究中心利用高速數(shù)字信號處理器（ＤＳＰ），采用數(shù)字閉環(huán)控制原理和傳統(tǒng)伺服電機(jī)驅(qū)動方式，實(shí)現(xiàn)了高精度工作臺的連續(xù)大行程運(yùn)動。
其微位移定位精度為±５０ｎｍ，宏位移定位精度優(yōu)于±１５０ｎｍ，可以滿足母盤刻錄直線進(jìn)給工作臺的連續(xù)變速和±５０ｎｍ控制精度的要求。
在此基礎(chǔ)上，本文研究并設(shè)計(jì)了工作臺的模擬驅(qū)動環(huán)節(jié)，以提高控制系統(tǒng)低速響應(yīng)的穩(wěn)定性和快速性。
１ 系統(tǒng)總體結(jié)構(gòu)
母盤刻錄系統(tǒng)直線進(jìn)給工作臺的底座固定在隔振大理石臺上，底座上安裝了帶高精度滾珠的Ｖ型槽作為運(yùn)動導(dǎo)軌。工作臺經(jīng)蝸輪蝸桿和小螺距精密絲杠兩級減速，通過直流伺服電機(jī)進(jìn)行驅(qū)動。
母盤刻錄系統(tǒng)采用恒線速刻錄方式，聚焦光斑相對于母盤的理想運(yùn)動是沿著以母盤圓心為中心的等線距阿基米德螺旋線以恒定線速度由內(nèi)向外運(yùn)動的，該運(yùn)動由母盤的高速轉(zhuǎn)動和刻錄光學(xué)頭的徑向直線進(jìn)給合成得到。
該精密工作臺用于母盤刻錄的正常工作速度約為３０μｍ／ｓ，采用上述大減速比的機(jī)械傳動系統(tǒng)不可避免地存在傳動誤差。因此要實(shí)現(xiàn)精密定位，必須采用全閉環(huán)控制系統(tǒng)，直接檢測工作臺位置并針對位置誤差進(jìn)行伺服控制。工作臺的控制系統(tǒng)總體結(jié)構(gòu)如圖１所示。
２ 模擬驅(qū)動環(huán)節(jié)的建模
２．１ 直流電機(jī)模型
工作臺驅(qū)動電機(jī)采用上海電機(jī)廠生產(chǎn)的直流力矩測速電機(jī)組４５Ｌ－ＣＺ００１。
若忽略電樞電感和粘性阻尼系數(shù)，則以電樞電壓Ｕａ（s)為輸入、轉(zhuǎn)速Ω(ｓ)為輸出的直流電機(jī)的傳遞函數(shù)為：
Ｆ（ｓ)＝Ω(ｓ)/Ua(s)＝(1/Ke)/[(Tms 1)(Tes 1)]≈(1/Ke)/Tms 1
其中，Ｋｅ為電動機(jī)反電動勢系數(shù)，其單位為Ｖ·ｓ；Ｔｍ為電機(jī)的機(jī)械時間常數(shù)；Ｔｅ為電機(jī)的電氣時間常數(shù)，其值很小可忽略，因此直流電機(jī)可以被簡化為一階系統(tǒng)。
圖5 實(shí)際PI校正環(huán)節(jié)
電機(jī)機(jī)械時間常數(shù)的測定可以通過給電機(jī)加一個７Ｖ階躍電壓，然后用示波器測定響應(yīng)到達(dá)穩(wěn)定值０．６３２時所用的時間而近似得到，如圖２所示。得機(jī)械時間常數(shù)Ｔｍ＝０．０６ｓ。
開環(huán)情況下，輸入電壓經(jīng)過線性功放后直接驅(qū)動電機(jī)，用轉(zhuǎn)速表ＨＴ－３３１測量對應(yīng)轉(zhuǎn)速，可以得到放大倍數(shù)。測得的數(shù)據(jù)列于表１中。
表1 測得的數(shù)據(jù)表
數(shù)據(jù)經(jīng)過直線擬合后，得到放大倍數(shù)為４６３．２５。
電氣時間常數(shù)很小，近似�。裕澹剑埃埃埃保�，可以得到經(jīng)過功放后的直流電機(jī)模型的傳遞函數(shù)為：
Ｆ（ｓ）＝Ω(ｓ)/Ua(s)＝463.25/[(0.06s )(0.0012s 1)]
２．２ 驅(qū)動電路設(shè)計(jì)
為了提高系統(tǒng)在低速時響應(yīng)的快速性、穩(wěn)定性和帶負(fù)載能力，要對模擬驅(qū)動電路進(jìn)行設(shè)計(jì)，由測速機(jī)引入速度負(fù)反饋，電壓差值經(jīng)過ＰＩ校正環(huán)節(jié)和線性功率放大器放大后驅(qū)動直流伺服電機(jī)運(yùn)動。驅(qū)動環(huán)節(jié)方案如圖３所示。
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